[发明专利]提取被周期性图案遮盖的非周期性图案的方法及执行该方法的装置在审
| 申请号： | 201580040396.5 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106575356A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 伯努瓦·图伊 | 申请（专利权）人： | FOGALE纳米技术公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G06T5/00;G06T5/10;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 谢攀,刘继富 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于从包括周期性干扰图案的测量信号中提取感兴趣的信息的方法，其包括以下步骤(i)通过基于形态学标准对测量信号的幅度谱进行分析来生成代表干扰图案的频率分量的滤波函数，(ii)对测量信号应用所述滤波函数以生成基本上由干扰图案构成的干扰信号，以及(iii)通过确定测量信号和干扰信号之差来计算滤波信号。本发明还涉及执行该方法的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 提取 周期性 图案 遮盖 方法 执行 装置 | ||
【主权项】：
一种用于从包括周期性干扰图案(13)的测量信号中提取感兴趣的信息(11)的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：‑通过基于形态学标准对所述测量信号的幅度谱(30)进行分析来生成代表所述干扰图案(13)的频率分量的滤波函数，‑对所述测量信号应用所述滤波函数，以生成基本上由所述干扰图案(13)构成的干扰信号，‑通过确定所述测量信号和所述干扰信号之差来计算滤波信号。
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