[发明专利]用于高温处理的静电夹盘组件

摘要

一种静电夹盘组件包括定位盘与冷却板。定位盘包括电性绝缘的上定位盘板，上定位盘板包括一个或更多个加热元件以及一个或更多个电极，以用于静电地固定基板，且定位盘进一步包括下定位盘板，下定位盘板通过金属接合而接合至上定位盘板，下定位盘板包括多个特征，多个特征在距离下定位盘板的中心的多个不同的距离处分布在下定位盘板的底侧上，其中多个特征的每一者容纳多个紧固件中的一者。冷却板通过多个紧固件而耦接至定位盘，其中多个紧固件各自施加大致相等的紧固力，以将冷却板耦接至定位盘。

主权项

一种静电夹盘组件，包括：定位盘，所述定位盘包括：电性绝缘的上定位盘板，所述上定位盘板包括一个或更多个加热元件以及一个或更多个电极，以用于静电地固定基板；及下定位盘板，所述下定位盘板通过金属接合而接合至所述上定位盘板，所述下定位盘板包括多个特征，所述多个特征在距离所述下定位盘板的中心的多个不同的距离处分布在所述下定位盘板上，其中所述多个特征中的每一者容纳多个紧固件中的一者；及冷却板，所述冷却板通过所述多个紧固件而耦接至所述下定位盘板，其中所述多个紧固件各自施加大致相等的紧固力，以将所述冷却板耦接至所述下定位盘板。