[发明专利]传感器以及用于制造传感器的方法

摘要

本发明涉及一种用于在功能层的表面上制造传感器的方法，其中合适的以粉末或者金属丝形式的传感器材料借助与激光涂覆焊接类似的方法在激光射束中熔化并且接着被施加到所述功能层的表面上。本发明提供了一种用于制造传感器、尤其还有现场传感器的明显改善的方法，其中也可以将所述传感器沉积在部分非常粗糙的功能层上，而不必如目前为止常见的那样使用耗费的掩膜。通过方法参数的容易匹配，得出不仅在待制造的传感器方面、而且在待探测的功能层方面的广泛的应用。如此制造的传感器尤其应用于探测高温负荷的部件或者其功能层。尤其温度传感器、压力传感器或者应力传感器或者还有加速度传感器属于根据本发明可制造的传感器。

主权项

1.用于在功能层的表面上制造传感器的方法，其中传感器材料至少部分地在激光射束中熔化并且接着被施加到所述功能层的表面上，其特征在于，‑ 使用聚焦的激光，所述激光的入射定向到衬底上，‑ 通过同轴输送来将所述传感器材料输送给所述激光射束，‑ 在施加所述传感器材料期间，调节所述功能层的表面温度，使得所述表面温度比所述功能层的熔化温度低，‑ 其中所述功能层的表面温度的调节通过热输入的限制来实现，所述热输入的限制通过激光射束的通过工艺粉末的遮挡引起，‑ 将所述工艺粉末的在激光点的区域中熔化的部分沉积在所述功能层的表面上。