[发明专利]用于EUV的自由电子激光器辐射源有效
| 申请号： | 201580043627.8 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106797101B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 安德雷·亚历山德罗维奇·尼基佩洛夫;T·J·克嫩;J·J·M·范海尔福尔特;W·J·恩格伦;G·J·H·布鲁斯阿德;G·G·波尔特;E·R·鲁普斯特拉 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/09 | 分类号： | H01S3/09;H01S3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 协调了在电子聚束的加速阶段电子聚束穿过线性加速器(LINAC)与在电子聚束的减速阶段电子聚束穿过所述LINAC。根据重复电子聚束序列而将每个连续电子聚束对在时间上间隔开相应的聚束间隔。电子源在所述电子聚束序列中提供清除间隙以允许在波荡器处的离子的清除。所述电子源根据清除间隙序列而提供所述清除间隙，使得对于多个能量恢复LINAC中的每个和对于实质上所有所述清除间隙：对于在加速阶段或减速阶段中的所述清除间隙的每次穿过所述LINAC，协调了所述清除间隙与在减速阶段或加速阶段中穿过所述LINAC的所述清除间隙中的另外一个清除间隙，由此维持所述LINAC的能量恢复操作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 euv 自由电子 激光器 辐射源 | ||
【主权项】：
1.一种使用自由电子激光器(FEL)来产生极紫外(EUV)辐射的方法，所述方法包括：将驱动激光器束引导至阴极上以产生电子聚束；将所述电子聚束传递至线性加速器(LINAC)以使所述电子聚束加速；使所述电子聚束沿着电子聚束路径穿过波荡器，所述波荡器被配置以产生EUV辐射；所述方法还包括：通过施加在预定范围内的所述电子聚束的电荷或发射度的变化而从所述电子聚束路径移除带正电荷的离子；其中电荷或发射度变化的所述预定范围被选择以限制所述线性加速器中的加速梯度的变化。
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