[发明专利]从掩膜、载具和沉积工具部件移除沉积材料的剥离工艺在审
| 申请号： | 201580044719.8 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN106999995A | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 宋道英;秉圣·利奥·郭 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于从工件剥离沉积材料的方法，所述方法可包含将工件浸入超声波浴中并施加超声波能量，其中所述超声波浴含有流体，所述流体保持在从大于室温到小于流体沸点的范围内的恒温下，或者在室温与小于流体沸点之间的范围内选择的ΔT下循环流体，其中所述温度经选择以提供层与工件之间的明显的CTE失配，以促进所述层从工件上剥离，且其中超声波浴中的处理时间在几秒至120分钟的范围内，以使所述层松动；通过利用液体冲洗来清洗工件；和干燥工件。本文描述一种用于执行剥离工艺的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 工具 部件 材料 剥离 工艺 | ||
【主权项】：
一种用于从诸如掩膜、载具和其他材料沉积系统部件的单个或多个工件剥离沉积材料的方法，包含：提供工件，具有涂覆所述工件的表面的沉积材料层；将所述工件浸没在超声波浴中并将超声波能量施加于所述工件上，其中所述超声波浴含有流体且所述流体保持在从大于室温到小于所述流体沸点的范围内的恒温下，其中所述恒温经选择以提供所述沉积材料层与所述工件之间的明显的CTE(热膨胀系数)失配，以促进从所述工件剥离所述沉积材料层，且其中所述超声波浴中的处理时间在几秒至120分钟的范围内，以使所述沉积材料层松动；通过利用液体冲洗来清洗所述工件；以及干燥所述工件。
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