[发明专利]用于在激光加工工件时进行受温度补偿的干涉仪式间距测量的装置和方法

摘要

在用于在激光加工工件(2)时测量工件(2)的反射的工件表面(2a)与反射的基准面(2b)之间的间距(A)的装置(3)中，干涉仪(5)具有分束器(6)，该分束器将干涉仪光(7)分到测量臂(9)上作为测量射束(10)并且分到基准臂(11)上作为基准射束(12)，并且具有探测器(13)，该探测器探测在工件表面(2a)上被反射的测量射束(10)和在基准面(2b)处被反射的基准射束(12)，其中，测量臂(9)和基准臂(11)在干涉仪光(7)的相干长度内是等长的。根据本发明设置，测量臂(9)具有测量光纤(14)而基准臂(11)具有基准光纤(15)，测量光纤(14)和基准光纤(15)在其整个长度上或在其部分长度上，尤其是在光纤(14，15)长度不同的情况下在较短光纤的整个长度上，平行地在彼此旁延伸并且与彼此处于热接触中，测量臂(9)具有第一表面区域(2a)作为反射的工件表面而基准臂(11)具有工件(2)的第二表面区域(2b)作为反射的基准面，并且，在工件(2)与测量光纤(14)和/或基准光纤(15)的位于工件侧的端部之间布置有转向光具(16)，该转向光具使测量射束(10)和/或基准射束(15)共同地或各自分开地运动经过测量面和/或基准面(2a，2b)。

主权项

一种用于在激光加工工件(2)时测量所述工件(2)的反射的工件表面(2a)与反射的基准面(2b)之间的间距(A)的装置(3)，该装置具有干涉仪(5)，该干涉仪具有：分束器(6；18)，该分束器将干涉仪光(7)分到测量臂(9)上作为测量射束(10)以及分到基准臂(11)上作为基准射束(12)；和探测器(13)，该探测器探测在所述工件表面(2a)上被反射的测量射束(10)和在所述基准面(2b)上被反射的基准射束(12)，其中，所述测量臂(9)和所述基准臂(11)在所述干涉仪光(7)的相干长度之内是等长的，其特征在于，所述测量臂(9)具有测量光纤(14)而所述基准臂(11)具有基准光纤(15)，所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)在其整个长度上或在部分长度上，尤其在光纤(14，15)的长度不同的情况下在较短光纤的整个长度上，平行地并排延伸并且相互处于热接触中，所述测量臂(9)具有第一表面区域(2a)作为反射的工件表面，而所述基准臂(11)具有所述工件(2)的第二表面区域(2b)作为反射的基准面，并且在所述工件(2)与所述测量光纤(14)的工件侧端部和/或与所述基准光纤(15)的工件侧端部之间布置有转向光具(16)，该转向光具使所述测量射束(10)和/或所述基准射束(15)共同地或各自分开地运动经过所述测量面和/或基准面(2a，2b)。