[发明专利]智能型电化学处理设备

摘要

本发明涉及一种智能型电化学处理设备，包含有一反应容器、一电极单元，以及一表面特征扫描仪，反应容器具有一电解液槽，电极单元具有一固定于电解液槽的第一电极与一可转动地设于电解液槽的第二电极，表面特征扫描仪设于电解液槽，由此，当有一设于第二电极的待处理工件欲置入电解液槽内进行处理时，通过第二电极的转动，使表面特征扫描仪可以对待处理工件进行扫描，在取得表面特征数据之后即可进一步调整各项制程参数，让待处理工件能够获得良好的表面处理效果。

主权项

一种智能型电化学处理设备，其特征在于包含有：一反应容器，具有一电解液槽；一电极单元，具有一第一电极与一第二电极，所述第一电极固定于所述反应容器的电解液槽内，所述第二电极能转动地设于所述反应容器的电解液槽内；一表面特征扫描仪，设于所述反应容器，用于自动扫描一设于所述第二电极的待处理元件并取得所述待处理元件的表面特征数据。