[发明专利]带粗调的放大式压电致动器有效
申请号: | 201580047032.X | 申请日: | 2015-08-13 |
公开(公告)号: | CN106796982B | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | S·法蒂;M·罗布森;K·蒂斯 | 申请(专利权)人: | 统雷有限公司 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H02N2/06 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 郑勇 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供一种整合推螺纹棒粗调和机械放大式压电动作微调的压电式致动器的三种设计变形。机械放大器沿纵轴容纳一个或多个预加载的压电叠堆,以转化为放大几个数量级的,垂直于压电叠堆位移的沿横轴位移。压电放大器输出行程被传送到在末端带有球的螺纹棒以推动所设表面的位置调整和位移变换,例如镜架等应用。 | ||
搜索关键词: | 带粗调 放大 压电 致动器 | ||
【主权项】:
1.一种致动器,包括:螺纹螺丝(103);以及压电放大器;其中所述压电放大器包括:由柔性铰链(118)连接的顶壁、底壁、第一边壁及第二边壁;第一压电叠堆和第二压电叠堆(109);以及中间耦合组件(112);其中,所述第一压电叠堆(109)的一端与所述第一边壁耦合,所述第二压电叠堆(109)的一端与所述第二边壁耦合,所述第一及第二压电叠堆(109)的另一端通过所述中间耦合组件(112)相互耦合;其中,所述顶壁包括螺纹孔(121、114),所述底壁包括第一通孔(115),而所述中间耦合组件(112)包括第二通孔;其中,所述螺纹螺丝(103)穿过所述第一通孔及第二通孔(115、112)并啮合所述螺纹孔(121、114);其中,当电压施加到所述压电叠堆(109)时,所述压电叠堆(109)通过所述压电叠堆(109)的膨胀或收缩导致所述边壁水平运动,所述水平运动通过所述柔性铰链(118)导致所述顶壁垂直运动,所述垂直运动通过所述顶壁的螺纹孔(121、114)拉或推所述螺纹螺丝(103)导致所述螺纹螺丝(103)的第一平移运动;以及其中,所述螺纹螺丝(103)相对于所述螺纹孔(121、114)的旋转导致所述螺纹螺丝(103)的第二平移运动。
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