[发明专利]用于形成多孔硅层的方法和装置

摘要

提供了用于形成多孔硅层的方法和装置。在一些实施方式中，阳极化浴槽包括外壳，具有用于保持化学溶液的第一容积；阴极，设置在外壳的第一侧处的第一容积之内；阳极，设置在与第一侧相对的外壳的第二侧处的第一容积之内，其中阴极和阳极的每一个的表面具有给定的表面面积；基板保持器，被构造以在多个基板保持位置中在第一容积之内沿着多个基板的周边保持所述多个基板；多个排放口，流体地耦接至第一容积以释放处理气体，其中所述多个排放口的每一个的顶端被设置在第一容积中的化学溶液填充水平之上。

主权项

一种阳极化浴槽，包含：(a)外壳，具有保持化学溶液的第一容积和沿着所述外壳的长度的纵轴；(b)阴极，设置在所述外壳的第一侧处的所述第一容积之内；(c)阳极，设置在与所述第一侧相对的所述外壳的第二侧处的所述第一容积之内，其中所述阴极和所述阳极的每一个的表面具有给定表面面积；(d)基板保持器，被以在多个基板保持位置中的所述第一容积之内沿着基板周边按照一个方向保持多个基板，以使得所述基板的表面大体上垂直于纵轴，其中所述基板保持器被构造以保持具有所述基板的表面的给定表面面积的基板，所述基板的表面的所述给定表面面积大体上等于阳极和阴极的所述表面的所述给定表面面积，其中第一基板保持位置被设置在相距所述阴极的第一距离处，第二基板保持位置被设置在相距所述阳极的第二距离处，且其余基板保持位置被设置在所述第一和第二基板保持位置之间，其中所述第一距离和所述第二距离分别小于或等于所述多个基板保持位置中相邻基板保持位置之间的距离；其中所述基板保持器在围绕每个基板的周边形成密封，以当基板被设置在所述基板保持器之内时，在所述多个基板的相邻对基板之间形成多个第二容积；和(e)多个排放口，流体地耦接至所述第一容积以释放处理气体，其中所述多个排放口的每一个的顶端被设置在所述第一容积中的化学溶液填充水平之上。