[发明专利]真空处理装置

摘要

提供了一种能够简单地进行搭载装置的搬出搬入的真空处理装置。利用载于搭载车(40)的搭载装置(30)的行驶部(32)夹着轨道装置(10)的引导部(48)，以使搭载车(40)移动。使升降部(23)下降，使搭载装置(30)悬吊于轨道装置(10)的槽外部(16)，使搭载车(40)后退并从搭载装置(30)的正下方拔去升降部(23)及底盘(22)，通过连接状态的连接部(14)，悬吊于与槽外部(16)连接的槽内部(15)，使搭载装置(30)调动至真空槽(8)的内部，使连接部为分离状态并通过盖装置(9)密闭真空槽(8)。能够在狭小的场所进行搭载装置(30)的搬出搬入。

主权项

1.一种真空处理装置，具有：真空槽，其在侧面具有搬出搬入用开口；搭载装置，其搭载在所述真空槽内处理的处理对象物体；以及轨道装置，其水平地配置，且悬吊所述搭载装置，其中，所述轨道装置具有：槽内部分，其为配置在所述真空槽内部的部分；槽外部分，其为配置在所述真空槽外部的部分；以及连接部，其配置在所述槽内部分的一端与所述槽外部分的一端之间并以能够旋转移动的方式构成，所述连接部在水平面内旋转，所述连接部的状态以能够在将所述槽外部分和所述槽内部分连接的连接状态、以及所述槽外部分与所述槽内部分之间分离且在所述槽内部分与所述槽外部分之间形成盖用间隙的分离状态之间切换的方式构成，在所述连接部处于所述分离状态时，所述搬出搬入用开口以能够由配置在所述盖用间隙的盖装置密闭的方式构成，在所述槽内部分和所述槽外部分以及所述连接部，分别设有引导所述搭载装置的移动方向的引导部、以及载置在所述搭载装置的上部设置的行驶部所具有的悬吊车轮以悬吊所述搭载装置的轨道部，若在所述引导部和所述行驶部之中，用一者夹着另一者，则使得所述搭载装置在通过所述引导部被引导移动方向的状态下，所述悬吊车轮在所述轨道部上旋转，所述搭载装置能够沿所述引导部移动，在通过所述盖装置密闭且被真空排气的所述真空槽的内部，悬吊于所述槽内部分的所述搭载装置所搭载的所述处理对象物体受到真空处理，其中，所述槽外部分具有所述引导部直线状地延伸的直线部、以及所述引导部弯曲为四分之一圆的弯曲部，所述直线部通过所述弯曲部和所述连接部而连接于所述槽内部分，所述直线部与所述槽内部分成为直角，所述槽内部分以延伸方向与所述搬出搬入用开口成为直角的方式配置在所述真空槽的内部，通过使所述搭载装置位于在能够沿水平方向移动的搭载车设置的能够上下移动的升降部上并使所述升降部上升，利用所述搭载车来支撑所述升降部上的所述搭载装置和搭载于所述搭载装置的所述处理对象物体的重量，在利用所述直线部的所述引导部、以及重量由所述搭载车支撑的所述搭载装置的所述行驶部中的任一者夹着另一者的状态下，使重量由所述搭载车支撑的所述搭载装置的所述悬吊车轮从所述直线部的与连接于所述弯曲部的部分为相反侧的端部开始移动到所述直线部的所述轨道部上，使所述升降部下降并将所述升降部上的所述搭载装置悬吊于所述直线部的所述轨道部，然后所述搭载装置从所述升降部间隔开，所述搭载车直线移动而所述搭载车与所述搭载装置分离，所述搭载装置按照所述直线部、所述弯曲部、所述连接部、以及所述槽内部分的顺序沿所述轨道装置移动。