[发明专利]用于工件的静电夹持的系统和方法

摘要

一种用于将工件夹持到静电夹具(ESC)的系统和方法包括将第一工件放置在ESC的表面上，并且将第一组夹持参数施加到ESC，其中用第一夹持力将第一工件夹持到ESC的表面。确定工件到ESC的夹持程度，并且基于工艺配方停止将第一组夹持参数施加到ESC。在停止将第一组夹持参数施加到ESC之后，将第二组夹持参数施加到ESC，并且当工件到ESC的夹持程度小于或近似等于阈值夹持值时，在将第二组夹持参数施加到ESC的同时，从ESC的表面移除工件ESC。在从ESC的表面移除工件之后，再停止到ESC的第二组夹持参数。

主权项

一种用于将工件夹持到静电夹具的方法，所述方法包括：将第一工件放置在所述静电夹具的表面上；将第一组夹持参数施加到所述静电夹具，其中用第一夹持力将所述第一工件夹持到所述静电夹具的表面；确定所述工件到所述静电夹具的夹持程度；停止将所述第一组夹持参数施加到所述静电夹具；在停止将所述第一组夹持参数施加到所述静电夹具之后，将第二组夹持参数施加到所述静电夹具；当所述工件到所述静电夹具的夹持程度小于或近似等于阈值夹持值时，在将所述第二组夹持参数施加到所述静电夹具的同时，从所述静电夹具的表面移除所述工件；以及在从所述静电夹具的所述表面移除所述工件之后，停止到所述静电夹具的所述第二组夹持参数。