[发明专利]传达方向选择性光衰减的设备和方法有效
| 申请号： | 201580049799.6 | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN107111236B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | V.德米特里耶夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMS有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种传达方向选择性光衰减的方法、设备。一种向光掩模传达方向选择性光衰减的方法可以包含对不同入射方向的光线分配不同衰减等级。所述方法还可以包括计算遮蔽元件阵列，以取决于光线的入射方向，用所分配的不同衰减等级来衰减光线。所述方法还可以包括在光掩模的基板内雕刻遮蔽元件阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 传达 方向 选择性 衰减 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种向光掩模传达方向选择性光衰减的方法，所述方法包括：对不同入射方向的光线分配不同衰减等级；计算遮蔽元件阵列，以取决于所述光线的入射方向，用分配的不同衰减等级来衰减所述光线；以及在所述光掩模的基板内雕刻所述遮蔽元件阵列。
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