[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法在审
| 申请号： | 201580049981.1 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN106796958A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 朴镇成;玉敬喆;郑贤浚 | 申请（专利权）人： | 汉阳大学校产学协力团 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 吕琳,宋东颖 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供薄膜晶体管。上述薄膜晶体管包括基板；活性图案，配置于上述基板上，包括氮化物；保护图案，配置于上述活性图案上，包括非氮化物；栅电极，与上述活性电极重叠；以及栅极绝缘膜，形成于上述栅电极及上述活性图案之间。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：基板；活性图案，配置于上述基板上，包括氮化物；保护图案，配置于上述活性图案上，包括非氮化物；栅电极，与上述活性图案重叠；以及栅极绝缘膜，形成于上述栅电极与上述活性图案之间。
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