[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

摘要

在位置偏移检测动作时，搬送机构的手部移动到基板支撑部的真目标位置。由基板支撑部在预先设定的基准位置支撑的基板由搬送机构的手部接受。由手部接受的基板和手部的位置关系由位置检测部检测。基于所检测的位置关系，获取基板支撑部的基准位置和真目标位置的偏移量。在所获取的偏移量大于预先设定的阈值的情况下输出警报。

主权项

1.一种基板处理装置，对基板进行处理，其中，具有：基板支撑部，具有预先设定的基准位置，并能够支撑基板，搬送装置，具有保持基板的保持部，通过使所述保持部移动来搬送基板，位置检测部，对由所述保持部保持的基板和所述保持部的位置关系进行检测，控制部，在基板处理时，以为了向所述基板支撑部的所述基准位置交付基板或从所述基准位置接受基板而使所述保持部移动到目标位置的方式对所述搬送装置进行控制；所述基准位置是在与基板的中心一致的状态下在所述基板支撑部支撑基板的位置，所述控制部在位置偏移检测动作时，以使所述保持部移动到所述基板支撑部的所述目标位置并接受由所述基板支撑部支撑的基板的方式对所述搬送装置进行控制，并且，基于由所述位置检测部检测出的位置关系，来获取所述基准位置和所述目标位置的偏移量，在所获取的偏移量大于预先设定的第一阈值的情况下输出警报。