[发明专利]试样移动载置系统及太阳能电池的制造方法

摘要

本发明提供一种试样移动载置系统，能阻止在移动载置中试样向面方向移动，且能修正试样的姿势，吸附的失败少且没有吸附时的破损。具备试样保持装置(20)，试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触销(接触部件)(31、32、33、34、35、36)和使接触销在沿着试样保持面(47)的方向移动的移动机构(41、42、43、44)。在基板支架(试样载置部件)(3)设置有载置基板(10)的试样载置预定区域(50)和凹部(51、52、53、54、55、56)。在使试样保持装置(20)接近试样载置预定区域(50)的状态时，使试样保持装置(20)的接触销进入凹部，并使移动机构动作，由此，接触销的一部分在凹部内移动。

主权项

一种试样移动载置系统，具有试样载置部件和试样移动装置，该试样载置部件载置试样，该试样移动装置提升试样并使该试样在试样载置部件与其它场所之间移动，其特征在于，所述试样移动装置具备试样保持装置，所述试样保持装置具有与应提升的试样相对的试样保持面，通过使气体在所述试样保持面与试样之间流通而产生负压，利用该负压将试样吸附到试样保持面侧，并将试样保持在与试样保持面接近的位置，该试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触部件和使接触部件在沿着试样保持面的方向移动的移动机构，在所述试样载置部件具有载置试样的试样载置预定区域，在该试样载置预定区域的边部或其附近设置凹部，在使所述试样保持装置接近试样载置部件的试样载置预定区域的状态时，使试样保持装置的接触部件的一部分进入所述凹部，并使移动机构动作，由此，接触部件的一部分在所述凹部内移动。