[发明专利]制备具有改善的耐磨性的双层涂布的切割工具的方法有效
| 申请号： | 201580051021.9 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN107002226B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | D·库拉波夫;T·萨萨基;S·科塞基;K·莫里斯塔;S·B·阿布苏里克;K·伊诺伊 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面解决方案股份公司;普费菲孔;日立金属株式会社;三菱日立工具株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 段菊兰;杨思捷 |
| 地址： | 瑞士普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种制备涂布有硬涂层的工具的方法，所述方法包括以下步骤：采用第一磁控溅射工艺将TiAlN涂层施加到基体上和采用第二磁控溅射工艺将Ti |
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| 搜索关键词： | 制备 具有 改善 耐磨性 双层 切割 工具 方法 | ||
【主权项】：
一种制备涂布有硬涂层的工具的方法，所述方法包括以下步骤：‑采用第一磁控溅射工艺将TiAlN涂层施加到基体上；‑采用第二磁控溅射工艺将TixSi1‑xN涂层施加到所述TiAlN层上，其中x小于或等于0.85，优选在0.80至0.70之间，包括0.80和0.70；其特征在于，所述第二磁控溅射工艺采用大于100W/cm2的功率密度来实施且本身为一种HIPIMS工艺。
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