[发明专利]传递方法和装置以及计算机程序产品有效

专利信息
申请号: 201580051087.8 申请日: 2015-09-09
公开(公告)号: CN107077065B 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: M.A.维楚伦 申请(专利权)人: 皇家飞利浦有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张同庆;陈岚
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种将柔性层传递至衬底的方法利用了柔性层中的局部凸起,其不与衬底形成接触。该局部凸起前进到衬底上的对准标记的位置。当需要对准调节时,利用处于合适位置的局部凸起进行对准调节,使得当完全使柔性层迎着衬底前进时,更加可复现的定位是可能的。
搜索关键词: 传递 方法 装置 以及 计算机 程序 产品
【主权项】:
一种使柔性印模机械接触衬底的方法,该方法包括步骤:‑ (a)在柔性印模中形成具有印模凸起部分的至少局部的印模凸起;‑ (b)将柔性印模相对于衬底定位,其中印模凸起部分为处于到衬底的第一非零距离处不与衬底接触并且比局部印模凸起部分之外的柔性印模的部分更靠近衬底的局部印模凸起部分,或者为与衬底接触的完整印模凸起部分;‑ (c)使用位于印模凸起部分中的柔性印模特征和位于衬底上的衬底特征测量印模凸起部分与衬底之间的横向对准;‑ (d)在印模凸起部分保持在合适位置的同时确定是否需要调节横向对准;‑ (e)如果需要调节横向对准,在维持局部印模凸起部分处于合适位置的同时或者在将完整印模凸起部分收回到局部印模凸起部分之后,通过相对于衬底横向平移至少印模凸起部分进行横向调节;以及‑ (f)如果不需要调节横向对准,或者在步骤(e)中进行横向调节之后,如果存在处于合适位置的局部印模凸起部分,使印模凸起部分朝衬底前进以形成与衬底接触的完整印模凸起部分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦有限公司,未经皇家飞利浦有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201580051087.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top