[发明专利]传递方法和装置以及计算机程序产品有效
申请号: | 201580051087.8 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN107077065B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | M.A.维楚伦 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张同庆;陈岚 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种将柔性层传递至衬底的方法利用了柔性层中的局部凸起,其不与衬底形成接触。该局部凸起前进到衬底上的对准标记的位置。当需要对准调节时,利用处于合适位置的局部凸起进行对准调节,使得当完全使柔性层迎着衬底前进时,更加可复现的定位是可能的。 | ||
搜索关键词: | 传递 方法 装置 以及 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】:
一种使柔性印模机械接触衬底的方法,该方法包括步骤:‑ (a)在柔性印模中形成具有印模凸起部分的至少局部的印模凸起;‑ (b)将柔性印模相对于衬底定位,其中印模凸起部分为处于到衬底的第一非零距离处不与衬底接触并且比局部印模凸起部分之外的柔性印模的部分更靠近衬底的局部印模凸起部分,或者为与衬底接触的完整印模凸起部分;‑ (c)使用位于印模凸起部分中的柔性印模特征和位于衬底上的衬底特征测量印模凸起部分与衬底之间的横向对准;‑ (d)在印模凸起部分保持在合适位置的同时确定是否需要调节横向对准;‑ (e)如果需要调节横向对准,在维持局部印模凸起部分处于合适位置的同时或者在将完整印模凸起部分收回到局部印模凸起部分之后,通过相对于衬底横向平移至少印模凸起部分进行横向调节;以及‑ (f)如果不需要调节横向对准,或者在步骤(e)中进行横向调节之后,如果存在处于合适位置的局部印模凸起部分,使印模凸起部分朝衬底前进以形成与衬底接触的完整印模凸起部分。
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