[发明专利]检查装置以及检查方法有效
| 申请号： | 201580051291.X | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107076677B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 永田泰史;佐佐泰志 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，第一缺陷候补区域是基于拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之差而检测的区域，所述第二缺陷候补区域是基于拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之比而检测的区域。由此，能够抑制假缺陷的检测，并能够高精度地检测出缺陷。优选在缺陷检测部(62)中，在摇晃比较部(623)中基于拍摄图像与参照图像之间的像素的值之差来检测出缺陷候补区域，在虚报减少处理部(629)中，将求出上述比的像素限制为该缺陷候补区域所包含的像素。由此，能够有效地检测出缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种检查装置，对对象物的表面的缺陷进行检测，其特征在于，具有：拍摄部，通过对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；存储部，存储与所述拍摄图像对应的参照图像；缺陷检测部，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，或者，基于所述拍摄图像与所述参照图像的差分图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比来检测出缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比检测出的区域。
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