[发明专利]固态成像元件、制造方法以及电子设备

摘要

本公开涉及允许微透镜与防反射薄膜之间的界面中的成分扩散的固态成像装置、制造所述固态成像装置的方法以及电子设备。在相邻像素的所述微透镜之间形成透湿孔。所述透湿孔被防反射薄膜覆盖。所述防反射薄膜形成在所述微透镜的除了所述扩散孔之外的表面上。所述防反射薄膜的折射率高于所述微透镜的折射率。本公开可以应用于例如作为背照式固态成像装置的互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器。

主权项

一种固态成像装置，包括：各像素的微透镜；扩散孔，其形成在彼此相邻的所述像素的所述微透镜之间，所述扩散孔被无机薄膜覆盖；以及第一防反射薄膜，其在所述微透镜的除了所述扩散孔之外的表面上形成，所述第一防反射薄膜具有比所述微透镜高的折射率。