[发明专利]脆性衬底的分断方法

摘要

本发明涉及一种脆性衬底的分断方法。将刀尖按压在脆性衬底(4)的表面(SF)。通过在脆性衬底(4)的表面(SF)上滑动被按压的刀尖，而在脆性衬底(4)的表面(SF)上产生塑性变形，借此形成具有沟形状的沟槽线(TL)。形成沟槽线(TL)的步骤是为获得下述状态而进行，即，在沟槽线(TL)正下方的脆性衬底(4)与沟槽线(TL)在交叉方向上连续地相连接状态即无裂痕状态。沟槽线(TL)包含曲线部。通过沿沟槽线(TL)伸展脆性衬底(4)在厚度方向上的裂痕，而形成裂痕线(CL)。利用裂痕线(CL)断开在沟槽线(TL)正下方的脆性衬底(4)与沟槽线(TL)在交叉方向上的连续连接。

主权项

1.一种脆性衬底的分断方法，其包含：准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有表面且具有垂直于所述表面的厚度方向；按压步骤，其将刀尖按压在所述脆性衬底的所述表面；及形成沟槽线的步骤，其使通过所述按压步骤被按压的所述刀尖在所述脆性衬底的所述表面上滑动，借此在所述脆性衬底的所述表面上产生塑性变形，而形成具有沟形状的沟槽线，所述形成沟槽线的步骤是以获得下述状态的方式而进行，即，所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉方向上连续相连的状态即无裂痕状态，所述沟槽线包含曲线部；且进一步包含形成裂痕线的步骤，其沿所述沟槽线使所述脆性衬底在所述厚度方向的裂痕伸展，借此形成裂痕线；而且通过所述裂痕线，所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉方向上的连续相连被分断。