[发明专利]超小型质谱分析装置和超小型粒子加速装置有效
| 申请号： | 201580052565.7 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107078020B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 保坂俊 | 申请（专利权）人： | 保坂俊 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;G01N27/62;H01J49/26;H05H5/03;H05H7/04;H05H7/22;H05H9/00;H05H13/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;徐俊 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使谁都可以低成本、小型化地制作和使用加速器、质谱分析装置。包含第1主基板(301)、附着在第1主基板(301)上面的第1上部基板(302)、以及附着在第1主基板(301)的下面的第1下部基板(303)的多基板所组成的质谱分析装置(300)，质谱分析室(308)是，被形成在第1主基板(301)上，从第1主基板(301)的上面贯通至第1主基板(301)的下面的贯通室，与基板面垂直方向(Z方向)被上部基板(302)和第1下部基板(303)所围，与Z方向成直角方向，并且沿带电粒子(318)的行进方向(X方向)的两侧被第1主基板侧板(301‑4，301‑5)所围，与Z方向和X方向成直角方向(Y方向)的两侧面被第1主基板(301)所围，带电粒子(318)的入射的第1主基板侧板(301‑4)上开有中央孔(310‑4)，带电粒子(318)从前记的第1主基板侧板(301‑4)上形成的中央孔(310‑4)射入到质谱分析室(308)。 | ||
| 搜索关键词： | 超小型 谱分析 装置 粒子 加速 | ||
【主权项】：
包含第1主基板、附着在第1主基板上面的第1上部基板、以及附着在第1主基板的下面的第1下部基板的多基板所组成的质谱分析装置，质谱分析室是被形成在第1主基板，从第1主基板的上面贯通至第1主基板的下面的贯通室(空间)，与基板面垂直方向(Z方向)被上部基板和第1下部基板所围，与Z方向成直角方向，并且沿带电粒子的行进方向(X方向)的两侧被第1主基板侧板所围，与Z方向和X方向成直角方向(Y方向)的两侧面被第1主基板所围，带电粒子入射的第1主基板侧板上开有中央孔，带电粒子从前记的第1主基板侧板上形成的中央孔射入到质谱分析室作为特征的质谱分析装置。
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