[发明专利]用于氘气回收的方法和设备

摘要

公开了一种用于从高压退火处理系统回收退火气体的新的方法、系统和设备。根据实施例，仅在使用稀有气体(例如氘气时)，来自高压退火处理系统的排出气体才被引导到气体回收系统中。退火气体从高压退火处理系统中使用的其他气体中分离，随后被加压、过滤和纯化，之后被传递到大容量储存分配单元。在一个实施例中，回收的气体随后再次被提供给高压退火处理系统以对晶片进行退火。

主权项

一种从高压退火处理系统的排气中回收至少第一退火气体的方法，所述高压退火处理系统用于在半导体制造过程中对多个基底进行退火，所述方法包括：接收关于在高压退火处理系统中存在至少第一退火气体的信号；用第二气体清洗气体回收系统；将至少第一退火气体引导到气体回收系统，其中，至少第一退火气体和第二气体混合在一起以在气体回收系统中形成多种气体的混合物；在引导之后，在气体回收系统的气体分离单元中分离所述多种气体，其中，气体分离单元从所述多种气体大体分离至少第一退火气体，以产生分离的退火气体；将分离的退火气体运送至气体回收系统的热交换单元；在气体回收系统的气体监测系统中测试分离的退火气体以监测分离的退火气体的品质，其中，如果分离的退火气体中具有的至少第一退火气体的浓度低于预定阈值，则：将分离的退火气体运送回气体分离单元，以对分离的退火气体进行再处理，和再次测试分离的退火气体的品质；将分离的退火气体运送至气体回收系统的气体加压单元，其中，分离的退火气体被加压到高于大气压，以产生加压的第一退火气体；将加压的第一退火气体运送到纯化系统；和在高压退火处理系统中再次使用加压的第一退火气体之前，储存纯化的并加压的第一退火气体至少一段时间。