[发明专利]烧结装置有效

申请号：	201580052829.9	申请日：	2015-09-09
公开（公告）号：	CN107004614B	公开（公告）日：	2019-08-30
发明（设计）人：	弗兰克·奥斯特瓦尔德;罗纳德·艾西尔;马汀·贝克尔;拉尔斯·保罗森;加赛克·鲁茨基;霍尔格·乌尔里奇	申请（专利权）人：	丹佛斯硅动力有限责任公司
主分类号：	H01L21/603	分类号：	H01L21/603
代理公司：	中科专利商标代理有限责任公司 11021	代理人：	李江晖
地址：	德国弗***	国省代码：	德国;DE
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摘要：	用于烧结至少一个电子组件(BG)的烧结装置(10)，该烧结装置具有下模具(20)和上模具(30)，该上模具可朝向该下模具(20)滑动、或者下模具(20)可朝向该上模具(30)滑动，其中，该下模具(20)形成用于有待烧结的组件(BG)的支架，并且该上模具(30)包括容器，该容器接收用于朝向该下模具(20)施加压力的压力垫(32)并且包括侧向地围绕该压力垫(32)的限定壁(34)，并且其中，该限定壁(34)具有外限定壁(34a)和内限定壁(34b)，该内限定壁被该外限定壁(34a)以邻近方式包围，并且其中，该内限定壁(34b)被安装成可朝向该外限定壁(34a)滑动，并且当沿该上模具(30)的方向在该压力垫(32)上施加压力时，该内限定壁被安装成沿该下模具(20)的方向滑动，由此，在将该内限定壁(34b)放置在该下模具(20)上之后，该压力垫(32)可沿该下模具(20)的方向移位。
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【主权项】：

1.用于烧结至少一个电子组件(BG)的烧结装置(10)，该烧结装置具有下模具(20)和上模具(30)，该上模具可朝向该下模具(20)滑动、或者下模具(20)可朝向该上模具(30)滑动，其中，该下模具(20)形成用于有待烧结的组件(BG)的支架，并且该上模具(30)包括容器，该容器接收用于朝向该下模具(20)施加压力的压力垫(32)并且包括侧向地围绕该压力垫(32)的限定壁(34)，并且其中，该限定壁(34)具有外限定壁(34a)和内限定壁(34b)，该内限定壁被该外限定壁(34a)以邻近方式包围，并且其中，该内限定壁(34b)被安装成靠着该外限定壁(34a)滑动，并且当沿该上模具(30)的方向在该压力垫(32)上施加压力时，该内限定壁被安装成沿该下模具(20)的方向滑动，由此，在将该内限定壁(34b)放置在该下模具(20)上之后，该压力垫(32)可沿该下模具(20)的方向移位。

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