[发明专利]压电振子以及压电振动装置有效
| 申请号： | 201580053202.5 | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN106797207B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 河合良太;中村大佐;西村俊雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供压电振子以及压电振动装置，压电振子(13)为具备振动部(15)的压电振子(13)，振动部(15)具有Si层(22)，该Si层(22)是作为简并半导体的n型的Si层(22)，且具有0.5mΩcm以上0.9mΩcm以下的电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 以及 振动 装置 | ||
【主权项】：
一种压电振子，该压电振子具备振动部，其中，所述振动部具有Si层，该Si层是作为简并半导体的n型的Si层，且具有0.5mΩcm以上0.9mΩcm以下的电阻率。
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