[发明专利]窄带化激光装置和对窄带化模块进行定位的方法在审
申请号: | 201580053761.6 | 申请日: | 2015-11-09 |
公开(公告)号: | CN107112714A | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
发明(设计)人: | 渡部义信;五十岚美和;芦川耕志 | 申请(专利权)人: | 极光先进雷射株式会社 |
主分类号: | H01S3/137 | 分类号: | H01S3/137 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 窄带化激光装置可以具有激光腔室;窄带化模块,其包含有光栅,使从激光腔室输出的激光窄带化而返回到激光腔室;壳体,其收容窄带化模块;3个安装件,它们被固定在壳体上;以及壳体移动装置,其通过分别支承3个安装件来支承壳体和窄带化模块,并且,使壳体相对于激光腔室在与光栅的分散面大致垂直的方向上移动,从而使窄带化模块移动。 | ||
搜索关键词: | 窄带 激光 装置 模块 进行 定位 方法 | ||
【主权项】:
一种窄带化激光装置,该窄带化激光装置具有:激光腔室;窄带化模块,其包含有光栅,使从所述激光腔室输出的激光窄带化而返回到所述激光腔室;壳体,其收容所述窄带化模块;3个安装件,它们被固定在所述壳体;以及壳体移动装置,其通过分别支承所述3个安装件来支承所述壳体和所述窄带化模块,并且,使所述壳体相对于所述激光腔室在与所述光栅的分散面大致垂直的方向上移动,从而使所述窄带化模块移动。
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