[发明专利]用于针对汽相沉积法的层厚度测量的装置和方法有效
| 申请号： | 201580055498.4 | 申请日： | 2015-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN107076538B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | M·冈;M·皮施;M·沙弗尔;J·舒斯特;R·索根夫雷;G·乌尔温登 | 申请（专利权）人： | NICE太阳能有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;C23C14/54;G01N29/02;G01N29/036;G01N29/12 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;潘飞 |
| 地址： | 德国施瓦*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的方法和测量系统，其具有：测量头(30)，所述测量头设有至少一个振动板(50、52)；脱耦段(12)，所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于汽相沉积法的真空腔(20)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，并且所述脱耦段能够以相对置的第二端部(12b)与所述测量头(30)通过引导气体或引导汽体方式耦合，其中所述脱耦段(12)具有至少一个加热区段(16)或至少一个冷却区段(18)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 针对 沉积 厚度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的测量系统，所述测量系统具有：‑测量头(30)，所述测量头设有至少一个振动板(50、52)；‑脱耦段(12)，所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于所述汽相沉积法的真空腔(20)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，并且所述脱耦段能够以相对置的第二端部(12b)与所述测量头(30)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，其中，所述脱耦段(12)具有至少一个加热区段(16)或至少一个冷却区段(18)，其中所述脱耦段(12)具有与它的第二端部(12b)邻接的冷却区段(18)，以及其中所述脱耦段(12)在所述冷却区段(18)的区域中具有冷阱(28)，所述冷阱具有至少一个能主动冷却的侧壁部区段(27)。
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