[发明专利]受光器、便携式电子设备和受光器的制造方法有效
申请号: | 201580057073.7 | 申请日: | 2015-07-28 |
公开(公告)号: | CN107078182B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 内桥正明;夏秋和弘;内田雅代;泷本贵博 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01L31/10 | 分类号: | H01L31/10;G01J1/42 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供可实现紫外区域的灵敏度不均的降低以及可见光区域和红外光区域的噪声降低的受光器、便携式电子设备和受光器的制造方法。受光器(1)的第一受光元件(PD1)和第二受光元件(PD2)分别通过在第一导电型的P型衬底(P_sub)上形成第二导电型的N型势阱层(N_well),在N型势阱层(N_well)内形成第一导电型的P型势阱层(P_well),在P型势阱层(P_well)内形成第二导电型的N型扩散层(N)而形成。P型衬底P_sub、N型势阱层(N_well)和P型势阱层(P_well)在电气上为相同电位或者被短路。 | ||
搜索关键词: | 受光器 便携式 电子设备 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种受光器,其包括:第一受光元件;与所述第一受光元件结构相同的第二受光元件;和形成在所述第一受光元件上的将紫外区域的波长截止的滤光片,通过对来自所述第一受光元件和第二受光元件的输出进行运算,仅输出所述紫外区域的波长的输出,该受光器的特征在于:所述第一受光元件和第二受光元件分别通过在第一导电型的半导体衬底上形成第二导电型的第一扩散层,在所述第一扩散层内形成第一导电型的第二扩散层,在所述第二扩散层内形成第二导电型的第三扩散层而形成,并且,所述半导体衬底、所述第一扩散层和第二扩散层在电气上为相同电位或被短路,在所述半导体衬底上形成有用于形成配线层的配线层用绝缘膜,并且,在所述半导体衬底与配线层用绝缘膜之间,层叠有由与所述配线层用绝缘膜相同的材料构成的第一防反射膜和由与该第一防反射膜不同的材料构成的第二防反射膜,所述第二防反射膜位于所述第一防反射膜与所述配线层用绝缘膜之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的