[发明专利]有机材料膜或有机无机复合材料膜的激光蒸镀方法、激光蒸镀装置有效
| 申请号： | 201580057831.5 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107109628B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 宫寺哲彦;杉田武;村上拓郎;近松真之;松原浩司 | 申请（专利权）人： | 国立研究开发法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨海荣;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于，解决因有机材料的气化而使得其它蒸镀用原料被污染、或者成膜速度不能控制而发生失控等现有技术中的问题，提供一种能够稳定地调节、控制成膜速度及蒸发速度的有机材料的激光蒸镀方法、激光蒸镀装置，在将至少一种有机材料进行激光蒸镀的方法中，其特征在于，对使该有机材料蒸发的激光的占空比进行调节。另外，其特征在于，基于上述有机物的蒸发速度、蒸镀用真空腔内的蒸气压对上述占空比进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 材料 无机 复合材料 激光 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光蒸镀方法，其是对基板激光蒸镀至少一种有机材料的方法，其特征在于，对使该有机材料蒸发的激光的占空比进行调节，其中基于所述有机材料的蒸发速度或者基于蒸镀用真空腔内的蒸气压，对所述占空比进行调节。
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