[发明专利]基板清洗装置及基板清洗方法

摘要

本发明提供一种一边使清洗头在基板的半径方向上移动一边清洗基板的表面的创新的基板清洗装置。清洗基板(S)的基板清洗装置(50)，具备外周支承部件(51)，支承基板(S)并使基板(S)旋转；海绵(541)，具有清洗面，该清洗面用于接触因外周支承部件(51)而旋转的基板(S)的被清洗面并清洗被清洗面；臂(53)，在清洗面与被清洗面接触的状态下，使海绵(541)在基板(S)的半径方向上移动；以及控制部(60)，控制清洗面对被清洗面的接触压。与海绵(541)位于基板(S)的中心附近时相比，在海绵(541)位于基板(S)的边缘附近时，控制部(60)使接触压更小。

主权项

一种基板清洗装置，对基板进行清洗，所述基板清洗装置的特征在于，具备：基板旋转支承部，该基板旋转支承部支承所述基板并使所述基板旋转；擦洗清洗部件，该擦洗清洗部件具有清洗面，该清洗面用于与通过所述基板旋转支承部而旋转的所述基板的被清洗面接触，来清洗所述被清洗面；移动机构，在使所述清洗面与所述被清洗面接触的状态下，该移动机构使所述擦洗清洗部件在所述基板的半径方向上移动；以及控制部，该控制部控制所述清洗面对所述被清洗面的接触压，与所述擦洗清洗部件位于所述基板的中心附近时相比，在所述擦洗清洗部件位于所述基板的边缘附近时，所述控制部使所述接触压更小。