[发明专利]用于工艺窗口特征化的虚拟检验系统

摘要

本发明提供用于检测样品上的缺陷的方法和系统。一种系统包含经配置以存储由检验系统产生的样品的物理版本的图像的存储媒体。使用对所述样品执行的制造工艺的一或多个参数的不同值在所述样品上形成至少两个裸片。所述系统还包含若干计算机子系统，其经配置以比较在所述样品上的使用所述不同值中的至少两者形成具有相同如所设计的特性的图案的位置处产生的经存储图像的部分。经比较的所述经存储图像的所述部分不受所述裸片在所述样品上的位置、所述图案在所述裸片内的位置或所述图案在所述样品上的位置约束。若干所述计算机子系统也经配置以基于所述比较的结果检测所述位置处的缺陷。

主权项

一种经配置以检测样品上的缺陷的系统，其包括：存储媒体，其经配置以存储由检验系统产生的样品的图像，其中所述检验系统经配置以使能量扫描遍及所述样品的物理版本，同时从所述样品检测能量以借此产生所述样品的所述图像，且其中使用对所述样品执行的制造工艺的一或多个参数的不同值在所述样品的所述物理版本上形成至少两个裸片；和一或多个计算机子系统，其经配置以：比较在所述样品上的使用所述不同值中的至少两者形成具有相同如所设计的特性的图案的位置处产生的经存储图像的部分，其中经比较的所述经存储图像的所述部分未受所述裸片在所述样品上的位置、所述图案在所述裸片内的位置或所述图案在所述样品上的位置约束；及基于所述比较的结果检测所述位置处的缺陷。