[发明专利]自身发热降低的BAW谐振器、具有BAW谐振器的高频滤波器、具有高频滤波器的双工器以及制造方法有效
| 申请号： | 201580061603.5 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107005220B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚斯·塔;伯恩哈德·巴德;马克西米利安·皮希 | 申请（专利权）人： | 追踪有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自身发热降低的BAW谐振器。自身发热通过热桥降低，并将来自电声活跃区域中的热量排放到载体衬底上，而不会影响谐振器的声学效果。 | ||
| 搜索关键词： | 自身 发热 降低 baw 谐振器 具有 高频 滤波器 双工器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种BAW谐振器(BAWR)，其包括‑电声活跃区域(EAB)，其具有两个电极(EL)和置于它们之间的压电层；‑载体衬底(TS)；‑置于所述活跃区域(EAB)和所述载体衬底(TS)之间的声学镜，其具有导热能力低的层(WI)和导热能力高的层(WL)；以及‑热桥(WB)其中‑所述导热能力低的层(WI)会降低从所述活跃区域(EAB)朝所述载体衬底(TS)的热量流动；以及‑所述热桥(WB)设置用来提高从所述活跃区域(TS)朝所述载体衬底(TS)的热量流动。
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