[发明专利]控制工件的温度的系统及方法

摘要

公开了一种用于在加工期间调制及控制工件的局部温度的系统及方法。所述系统使用具有一或多个壁的台板，所述一或多个壁在所述台板的顶面上界定多个分立的区。当工件安置于所述台板上时，形成多个隔室，其中每一隔室由所述工件的背面及所述台板的相应区界定。所述隔室中的每一隔室内的背面气体的压力可被单独地控制。背面气体的压力决定自所述工件传递至所述台板的热量的量。通过局部地调节背面气体的压力，所述工件的不同区可维持在不同温度。在某些实施例中，使用多个阀来控制流至所述隔室的流动速率。

主权项

一种用于在加工期间控制工件的多个区的温度的系统，包括：台板，包括具有一或多个壁的顶面，所述一或多个壁界定多个分立的区，其中当工件安置于所述台板上时，所述多个分立的区形成多个隔室，每一隔室均对应于所述工件的区，其中所述多个隔室中的每一个具有相关联的开口；多个管道，所述多个管道中的每一个分别与相应的开口连通；多个阀，每一个阀分别与所述多个管道中的相应一个管道连通且与背面气体供应系统连通；以及控制器，与所述多个阀连通，以独立地控制通过所述多个阀中的每一个的流动速率以维持所述多个隔室中的每一个内的压力，其中所述压力被选择以维持对应至相应隔室的所述工件的每一个区的温度。