[发明专利]酚醛清漆型酚醛树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、及涂膜

摘要

提供耐热性优异、且对g射线、h射线及i射线的曝光波长的吸光度低、高灵敏度的感光性组合物、抗蚀材料、其涂膜、及适合于这些用途的酚醛清漆型酚醛树脂及其制造方法。具体而言，提供一种酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，其是使酚系三核体化合物(A)与甲醛在酸催化剂下进行反应而得到的，所述酚系三核体化合物(A)包含通过二烷基取代苯酚与含羟基芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A1)、以及通过在2,3位、2,5位、3,4位、或3,5位的位置具有烷基的二烷基取代苯酚与不具有羟基的芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A2)，并且前述酚系三核体化合物(A1)与前述酚系三核体化合物(A2)的摩尔比为20：80～90：10。

主权项

1.一种酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，其是以下述通式(1)所示的酚系三核体化合物A1、以及选自由下述通式(2‑1)、(2‑2)、(2‑3)及(2‑4)所示的化合物组成的组中的1种以上酚系三核体化合物A2和醛类B作为必需的反应原料的酚醛清漆化反应物，所述酚系三核体化合物A1与所述酚系三核体化合物A2的摩尔比为20：80～90：10，式(1)中，R1、R2及R3各自独立地表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，存在多个的R1可以彼此相同也可以不同，存在多个的R2可以彼此相同也可以不同，R3存在多个时，它们可以彼此相同也可以不同，而且，r表示0～4的整数，s表示1或2，其中，r与s的和为5以下，式中，R表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，多个R可以彼此相同也可以不同，R3表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，R3存在多个时，它们可以彼此相同也可以不同，t表示0～5的整数。