[发明专利]检测气态分析物的气体传感器装置和制造该装置的方法有效
| 申请号： | 201580065419.8 | 申请日： | 2015-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN107003277B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | M.维登迈尔;A.莱奇;D.孔茨;R.勒尔弗 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 梁冰;宣力伟 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于制造用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置（100）的方法。所述方法（700）具有以下步骤：提供传感器基体（110），所述半导体基体具有半导体衬底（112）和被布置在所述半导体衬底（112）的第一主表面上的固体电解质层（116），至少一个腔区段（114）成形在所述半导体衬底中。在此所述固体电解质层（116）在所述至少一个腔区段（114）中未被所述半导体衬底（112）覆盖。所述方法还具有以下步骤：在所述传感器基体（110）的半导体衬底侧处生成以干化学方式沉积的信号传导层（120），使得在所述至少一个腔区段（114）中未被所述半导体衬底（112）覆盖的固体电解质层（116）的区域中，至少一个缺口区段在所述信号传导层（120）中成形，在所述缺口区段中移除了或者未沉积所述信号传导层（120）；此外，所述方法具有下述步骤：将至少两个测量电极（130、140）借助于湿化学过程涂覆到所述固体电解质层（116）上，其中第一测量电极（130）布置在所述信号传导层（120）的所述至少一个缺口区段中，并且第二测量电极（140）布置在所述传感器基体（110）的固体电解质层侧上。 | ||
| 搜索关键词： | 固体电解质层 衬底 半导体 信号传导层 传感器基体 气体传感器装置 气态分析物 电极 成形 沉积 半导体基体 测量电极 第二测量 第一测量 化学方式 湿化学 主表面 检测 覆盖 涂覆 制造 | ||
【主权项】：
1.用于制造用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置（100）的方法（700），其中所述方法（700）具有以下步骤：提供（710）传感器基体（110），所述传感器基体具有半导体衬底（112）和被布置在所述半导体衬底（112）的第一主表面上的固体电解质层（116），至少一个腔区段（114）成形在所述半导体衬底中，其中所述固体电解质层（116）在所述至少一个腔区段（114）中由所述半导体衬底（112）留空；在所述传感器基体（110）的半导体衬底侧处，生成（720）以干化学方式沉积的信号传导层（120），使得在所述至少一个腔区段（114）中未被所述半导体衬底（112）覆盖的固体电解质层（116）的区域中，至少一个缺口区段（222）在所述信号传导层（120）中成形，所述信号传导层（120）在所述缺口区段中留空；以及将至少两个测量电极（130、140）借助于湿化学过程涂覆（730）到所述固体电解质层（116）上，其中第一测量电极（130）布置在所述信号传导层（120）的所述至少一个缺口区段（222）中并且第二测量电极（140）布置在所述传感器基体（110）的固体电解质层侧上。
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