[发明专利]基板监视装置及基板监视方法有效
| 申请号： | 201580065522.2 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107110793B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 阪上弘敏;大野哲宏;东基从 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 洪磊 |
| 地址： | 日本国神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板监视装置，具备：摄像部(27)，其具有指定的摄像范围；配置部(26a)，其在摄像范围内配置基板(S)；照射部(29)，其构成为通过对配置于摄像范围内的基板(Sc(Se1))照射激光光线(L)，从而在基板的端部(So(Se1))产生激光光线的反射光及散射光的至少一方，而将端部(Se1)的影像形成于摄像部(27)的受光面；以及监视部，其监视摄像部(27)的摄像结果。 | ||
| 搜索关键词： | 监视 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板监视装置，其具备：摄像部，其具有接收来自指定摄像范围的光的受光面；配置部，其在所述摄像范围内配置基板；照射部，其构成为通过对配置于所述摄像范围内的所述基板照射激光光线，从而在所述基板的端部产生所述激光光线的反射光及散射光的至少一方，将所述端部的影像作为摄像结果而形成于所述受光面；以及监视部，其监视所述摄像结果。
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