[发明专利]以波纹管卡紧翘曲的晶片有效
| 申请号： | 201580065603.2 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN107000175B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 黄鲁平 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张世俊<国际申请>=PCT/US2015 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示一种真空卡盘，其具有拉动晶片表面朝向卡紧表面的至少一个吸力组合件。所述吸力组合件可与翘曲的晶片一起使用。吸力使吸力组合件的垫与所述晶片表面接合且使所述吸力组合件的波纹管缩回。当所述波纹管缩回且使所述晶片表面更靠近于所述卡紧表面时，由所述真空卡盘提供的所述吸力可将所述晶片拉平。 | ||
| 搜索关键词： | 吸力 组合件 晶片表面 真空卡盘 缩回 波纹管 晶片 卡紧 接合 拉平 翘曲 | ||
【主权项】：
1.一种吸力组合件，其包括：/n基座；/n波纹管，其具有第一端及与所述第一端相对的第二端，其中所述波纹管的所述第二端安置于所述基座上；/n垫，其具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，其中所述垫的所述第二表面安置于所述波纹管的所述第一端上，其中所述第一表面界定所述垫中的凹口，且所述垫进一步包括所述第一表面与所述第二表面之间的至少一个通道，所述通道由通道壁界定；/n真空口，其与第一容积及第二容积流体连通，其中所述第一容积由所述基座、所述波纹管及所述垫界定，且其中所述第二容积由所述凹口部分地界定；及/n所述波纹管内的弹簧，所述弹簧安置于所述基座与所述垫之间以抵抗所述波纹管的缩回。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580065603.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
