[发明专利]采用卷对卷处理制造的微机电系统有效
| 申请号： | 201580067081.X | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107002657B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬.A.马什 | 申请（专利权）人： | 斯蒂芬.A.马什 |
| 主分类号： | F04B43/00 | 分类号： | F04B43/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛飞 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了卷对卷处理技术以产生具有可释放和可移动的机械结构的微机电系统。作为代表性示例，描述了一种包括具有间隔泵室的泵体的微型泵，具有多个入口和出口以及阀和包围泵室的多个膜。 | ||
| 搜索关键词： | 微机电系统 卷对卷 泵室 机械结构 可释放 可移动 微型泵 泵体 包围 制造 出口 | ||
【主权项】：
1.一种制造微机电系统的方法，所述微机电系统包括固定主体和可从所述固定主体释放的元件，并且一旦释放，该元件可相对于所述固定主体移动，所述方法包括：在柔性塑料材料的第一片材的第一表面上对金属涂层进行图案化，以从所述第一片材的表面的第一部分移除所述金属涂层，同时在所述第一片材的表面的第二部分上留下第一金属区域；对所述第一片材进行图案化，以从所述第一片材的第一部分产生所述固定主体以及从所述第一片材的第二部分产生所述元件，其中所述元件具有第一金属区域，和将所述元件连接到所述固定主体的一部分的系绳；以及将柔性塑料材料的第二片材层压到所述第一片材以提供复合层压结构。
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