[发明专利]用于测量工件的特征的方法和设备有效
申请号: | 201580067568.8 | 申请日: | 2015-12-11 |
公开(公告)号: | CN107208996B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 拉尔夫·克里斯多佛;英格玛·施密特;沃尔克·韦格纳;马蒂亚斯·安德拉斯;乌尔里希·诺伊舍费尔-鲁贝;安德烈亚斯·艾特迈尔;穆罕默德·德米莱尔;萨宾·林茨-迪特里希;本杰明·霍普 | 申请(专利权)人: | 沃思测量技术股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/012 | 分类号: | G01B5/012;G01B11/00;G01B11/245 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 张建涛;车文 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于几何地确定工件的特征的方法和设备,其包括图像处理传感器和光学分光器,图像处理传感器具有第一光束路径,所述第一光束路径包括面对待测量工件的至少一个前光学单元,光学分光器被安装在前光学单元的背向工件的一侧。所述光学分光器将第二光束路径连接至图像处理光束路径,形成公共光束路径,并且所述第二光束路径与第二光学传感器相关联,图像处理传感器和第二传感器被设计成直接测量工件的表面。前光学单元被形成为非球面镜和/或具有纵向彩色瑕疵。 | ||
搜索关键词: | 用于 测量 工件 特征 方法 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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