[发明专利]提供增强的抗月牙洼磨损性能的AlCrN基涂层有效
| 申请号： | 201580068327.5 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN107002252B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 安德斯·奥洛夫·埃里克森;米尔哈姆·阿恩特;塞巴斯蒂安·施泰因 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C14/02;C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 沉积在基材(201)表面上的涂层(210)，包括多层膜(216)，其由相互交替沉积的多个A层和多个B层组成，形成了A/B/A/B/A...结构，所述A层包含铝铬硼氮化物，而所述B层包含铝铬氮化物而不含硼，所述多层膜(216)至少包括初始部分(216a)和最后部分(216c)，其中，在所述初始涂层部分(216a)中的平均硼含量大于在所述最后涂层部分(216c)中的平均硼含量，并且所述初始涂层部分(216a)和最后涂层部分(216c)都显示出固有压应力，且其中在所述初始涂层部分(216a)中的固有压应力小于在所述最后涂层部分(216c)中的固有压应力。 | ||
| 搜索关键词： | 压应力 多层膜 铝铬 抗月牙洼磨损 交替沉积 硼氮化物 氮化物 基涂层 基材 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种沉积在基材(201)的表面上的涂层(210)，其包括多层膜(216)，所述多层膜由多个A层和多个B层组成，所述多个A层和多个B层相互交替沉积形成A/B/A/B/A...结构，所述A层包含铝铬硼氮化物，所述B层包含铝铬氮化物且不含硼，其特征是，所述多层膜(216)至少包括初始涂层部分(216a)和最后涂层部分(216c)，其中，在所述初始涂层部分(216a)中的平均硼含量大于在所述最后涂层部分(216c)中的平均硼含量，并且所述初始涂层部分(216a)和所述最后涂层部分(216c)两者都显示出固有压应力，且其中，在所述初始涂层部分(216a)中的固有压应力小于在所述最后涂层部分(216c)中的固有压应力。
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