[发明专利]离子化装置和包含离子化装置的质谱仪有效
| 申请号： | 201580068638.1 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN107004551B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | M.阿利曼;钟显耀;G.费多森科;R.罗伊特;A.劳厄;A.冯科伊德尔;M.伯克;T.本特;J.温特;P.阿瓦科维茨;L.戈尔霍弗 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J27/08 | 分类号： | H01J27/08;H01J37/08;H01J49/12;H01J49/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明关于一种离子化装置(1)，其包括：等离子体产生装置(4)，在初级等离子体区(9)中产生亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)；场产生装置(13)，在次级等离子体区(10)中产生辉光放电(12)；进气口(2)，将待离子化的气体(3)供应入次级等离子体区(10)；以及另一进气口(5)，将离子化气体(6)的亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)供应入次级等离子体区(10)。本发明还关于一种质谱仪(20)，包含此种离子化装置(1)；以及检测器(17)，其设置于离子化装置(1)的排气口(16)下游，用于该离子化的气体(3a、3a′)的质谱分析。 | ||
| 搜索关键词： | 离子化 装置 包含 质谱仪 | ||
【主权项】：
1.离子化装置(1)，包含：等离子体产生装置(4)，在初级等离子体区(9)中产生离子化气体(6)的亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)；场产生装置(13)，在次级等离子体区(10)中产生辉光放电(12)；进气口，将待离子化的气体(3)供应至该次级等离子体区(10)；以及另一进气口，将所述离子化气体(6)的亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)供应至该次级等离子体区(10)。
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