[发明专利]基于对统计指标的同时分析制造部件的方法

摘要

本发明涉及基于对多个表示部件的特征尺寸的不同的统计指标的同时分析来制造所述部件的过程，其中，限定了总验证集、总制裁集和总控制集，所述总验证集对应于每个统计指标的不同验证集的集合的组合，所述总制裁集对应于每个统计指标的不同制裁集的集合的组合，所述总控制集对应于每个统计指标的不同控制集的集合的组合；根据所述总验证集、所述总制裁集和所述总控制集，确定包含所测量的特征尺寸的平均值μm和标准偏差σm的参数对属于哪一个总集合，并且根据所确定的总集合来控制所述制造。

主权项

一种基于对多个表示部件的特征尺寸的不同的统计指标的同时分析来制造所述部件的方法，所述部件由制造装置生产，其中，每个统计指标是根据测量的多个部件的特征尺寸的平均值μ和标准偏差σ计算的，每个统计指标与第一参考值以及大于所述第一参考值的第二参考值相关联，定义为：验证集，包括其中所述统计指标大于或等于所述第二参考值的对(μ；σ)；制裁集，包括其中所述统计指标小于或等于所述第一参考值的对(μ；σ)；以及控制集，包括其中所述统计指标介于所述第一参考值和所述第二参考值之间的对(μ；σ)；定义了以下集合：总验证集，对应于每个统计指标的不同验证集的集合相关的组合；总制裁集，对应于每个统计指标的不同制裁集的集合相关的组合；总控制集，包括没有包含在所述总验证集和所述总制裁集中的对(μ；σ)；从所述制造装置生产的部件中提取包含多个部件的样品，测量所述样品中的每个部件的特征尺寸，并为所提取的样品计算所测量的特征尺寸的平均值μm和标准偏差σm；确定包含所测量的特征尺寸的平均值μm和标准偏差σm的对属于所述总验证集、所述总制裁集和所述总控制集中的哪一个总集合，并且根据以这种方式确定的总集合进行所述制造。