[发明专利]用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201580069963.X | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107003263B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | M.维登迈尔;R.菲克斯;M.施赖福格尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N27/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 卢江;杜荔南 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器。该传感器具有介电层（3），所述介电层被布置在层状第一电极（2）与层状第二电极（4）之间。第二电极（4）是复合电极，所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐以及作为复合电极的第二材料的至少一种金属。该传感器可以借助于如下方法来制造，该方法包括：将层状第一电极（2）施加到衬底上（1）；将介电层（3）施加到第一电极（2）上；以及将层状第二电极（4）施加到介电层（3）上。在此情况下，第二电极（4）作为复合电极被施加，所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐，并且具有复合电极的至少一种第二材料，所述第二材料具有大于10 |
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| 搜索关键词： | 用于 测量 气体 混合物 中的 二氧化碳 浓度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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