[发明专利]图案化印模制造方法、图案化印模和压印方法有效
| 申请号： | 201580070313.7 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN107111226B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | R.范布拉克;M.A.维舒尤伦 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张同庆;陈岚 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种制造用于图案化轮廓化表面（10）的图案化印模（100）的方法。该方法包括：将柔韧材料前体层（115）应用在携带反转图案（52）的主件（50）之上以在所述层中形成期望图案（122）；固化柔韧材料前体以形成包括所述期望图案的柔韧印模层（120）；通过将多孔柔韧支持层（130）粘附到柔韧印模层来提供中间印模结构；从主件释放中间印模结构；迫使中间印模结构进入轮廓化表面上，特征的所述图案面向轮廓化表面；通过用填充材料填充多孔柔韧支持层以减小所述支持层的柔韧性形成图案化印模；以及从轮廓化表面移除图案化印模。还公开了对应的图案化印模、压印方法和压印的物品。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 印模 制造 方法 压印 | ||
【主权项】：
一种用于压印光刻的印刷印模（100），该印刷印模包括：具有携带浮雕图案（122）的轮廓化表面（120）的柔韧印模层，该浮雕图案被暴露以用于图案化衬底的轮廓化表面；以及粘附到所述柔韧印模层并且包括填充有填充材料的多个孔的支持层。
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