[发明专利]用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期扰动的光谱仪系统和方法有效

专利信息
申请号: 201580070440.7 申请日: 2015-02-02
公开(公告)号: CN107407601B 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: S·K·安徒生;M·L·安徒生 申请(专利权)人: 福斯分析仪器公司
主分类号: G01J3/45 分类号: G01J3/45;G01J3/453
代理公司: 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 代理人: 郑洪成
地址: 丹麦*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 光谱仪系统和用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期性扰动的方法。光谱仪系统(2)包括:扫描干涉仪(4);驱动系统(6),其机械耦合到扫描干涉仪(4)的可移动反射器元件(14)并且可操作以实现多个,优选地多于两个,例如三个不同的扫描速度下可移动反射器元件(14)的往复运动;检测器装置(8),被配置为以等距时间间隔对由扫描干涉仪(2)形成的干涉图进行采样以产生采样干涉图;以及数据处理器(10),适于在所述多个不同扫描速度中的每一个处获取采样的干涉图,并且执行如此获取的多个采样干涉图的内容的相对比较。
搜索关键词: 用于 补偿 光谱仪 系统 产生 干涉 时间 周期 扰动 方法
【主权项】:
光谱仪系统(2),包括:扫描干涉仪(4);驱动系统(6),其机械地耦合到所述扫描干涉仪(4)的可移动反射器元件(14)并且可操作以实现所述可移动反射器元件(14)的往复运动;检测器装置(8),被配置为以等距时间间隔对由所述扫描干涉仪(2)形成的干涉图进行采样以产生采样干涉图;以及数据处理器(10),适于获取采样的干涉图并对其执行傅里叶变换操作;其中所述驱动系统(6)可操作以以多个不同的速度实现所述可移动反射器元件(14)的往复运动,并且其中所述数据处理器(10)适于在所述多个不同速度中的每一个处采集采样的干涉图并且执行如此获取的多个采样干涉图的内容的相对比较。
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