[发明专利]具有底部密封布置的硅沉积反应器

摘要

本发明公开了用于制造高纯度硅包覆粒子的流化床反应器系统。容器具有外壳、所述外壳内向的绝缘层、所述外壳内向的同心内壳、和定位在所述内壳的内向并限定反应器室的同心衬里。所述内壳和衬里在它们的底部由O形环密封布置密封在一起，以防止所述反应器室中的气体进入所述内壳和所述衬里之间的空间。中央入口喷嘴在所述反应器室中产生竖直的气体羽流。

主权项

硅沉积反应器系统，其包含：容器，其具有基底、顶盖、和在所述基底和所述顶盖之间大致竖直延伸的大致管状外壳；大致管状内壳，其位于所述外壳内向，所述内壳大致竖直延伸并由所述容器支撑；大致管状衬里，其位于所述内壳内向，所述衬里大致竖直延伸并由所述内壳支撑，所述衬里具有内表面，所述内表面至少部分限定适合于包含流化床中的许多硅粒子的室；至少一个喷嘴，其用于将气体注入所述室中；和至少一个出口，其用于从所述室除去气体。