[发明专利]具有改进的操作的动态压力传感器

摘要

MEMS和/或NEMS压力传感器，位于基板中，包括：固定部分及相对于该固定部分可移动的部分，可移动部分包括能够在压力变化的作用下在传感器平面中移动的敏感元件(108)；应变计(18)，用于检测敏感元件(108)由于压力变化而在传感器平面中的移动；用于驱动敏感元件的电极(24.1，24.2)，所述驱动电极由固定部分及可移动部分部分地支撑，所述驱动电极被设置成自动地控制敏感元件(108)在位置范围内的移动；用于控制驱动电极的装置(C)，该装置被配置成基于应变计发出的信号使驱动电极偏移以自动地控制敏感元件在位置范围内的移动。

主权项

一种MEMS和/或NEMS型压力传感器，位于在被称为传感器平面的平面中延伸的基板中，所述压力传感器包括：‑固定部分和相对于所述固定部分可移动的可移动部分，所述可移动部分包括能够在压力变化的作用下在所述传感器平面中移动或者变形的至少一个敏感元件(S，8，108，208)，‑检测装置(D，16，216)，用于检测所述敏感元件由于压力变化而在所述传感器平面中的移动或者变形，‑第一驱动装置(A1，24.1，24.2，24.3，24.4，124，124.1，124.2，224.1，224.2，224.1'，224.2')，用于驱动所述可移动部分，所述第一驱动装置被控制成从动于所述敏感元件(8，108，208)的移动或变形位置，‑第一控制装置(C1)，用于控制所述第一驱动装置，所述第一控制装置被配置成根据所述检测装置发出的信号使所述第一驱动装置极化以从动于所述敏感元件的移动或变形位置，其中，所述第一驱动装置(24.1，24.2，24.3，24.4，124，124.1，124.2，224.1，224.2，224.1'，224.2')包括至少两对电极，每对电极包括由所述固定部分支撑的固定电极和面对所述固定电极、由所述可移动部分支撑的可移动电极，以及其中，所述敏感元件(108，208)包括受压力变化影响的面，该面被称为敏感面，并且所述敏感元件(108，208)包括在所述敏感元件的两个平行壁(108.2，108.3)之间界定的至少一个壳体(34，234.1，234.2)，所述两个平行壁中的一个壁(108.2)支撑所述敏感面，所述固定电极中的全部或部分固定电极布置在所述壳体(34，134)中，而所述可移动电极中的全部或部分可移动电极位于所述壳体的所述壁(18.2，18.3)的内面(108.22，108.23)上。