[发明专利]具有无应力地固定的MEMS器件的模块

摘要

说明一种模块，其中MEMS器件在宽的温度范围上无应力地经由机械连接与载体连接。为此，机械连接包括补偿结构，所述补偿结构通过水平分段跨越固定点的水平偏移并且适当地选择所述补偿结构的温度膨胀系数。

主权项

1.电模块（M），包括‑具有第一温度膨胀系数K₁、第一固定点和第二固定点的载体（T），‑具有MEMS结构（ME、BP）、第二温度膨胀系数K₂≠K₁、第一固定点和第二固定点的MEMS器件（MB），‑在所述载体（T）的所述第一固定点和所述器件（MB）的所述第一固定点之间的第一机械连接（MV1），‑在所述载体（T）的所述第二固定点和所述器件（MB）的所述第二固定点之间的第二机械连接（MV2），所述第二机械连接（MV2）具有补偿结构（KS），所述补偿结构具有温度膨胀系数K_K，其中‑在MEMS器件（MB）处的固定点具有水平间隔d₁，并且在所述载体（T）上的所述固定点具有水平间隔d₂，‑选择d₁和d₂的值，使得所述补偿结构（KS）在温度变化时补偿d₁和d₂的不同的长度变化，并且所述MEMS器件（MB）在不同的温度的情况下无应力地与所述载体连接，其中‑所述补偿结构（KS）沿着在所述两个第二固定点之间的连接方向跨越间隔Δd=d₂‑d₁，和‑满足方程式 d₂=d₁(K_K‑K₁)/(K_K‑K₂)。