[发明专利]基板冲洗系统及方法

摘要

示例瀑布设备包括：(1)具有第一宽度的第一部分，该第一部分具有：(a)第一容室、第二容室、和介于该第一与第二容室之间的受限流体路径；(b)第一耦接表面；和(c)入口开口，该入口开口产生介于该第一耦接表面与该第一容室之间的流体路径；以及(2)具有第二宽度的第二部分，该第二宽度大于该第一宽度，且该第二部分具有：(a)第二耦接表面；和(b)入口，该入口与该第一部分的入口开口对齐。该第一与第二耦接表面形成沟槽，该沟槽沿着该瀑布设备的长度的至少一部分延伸且连接到该第二容室。被引进到该第二部分的入口的流体填充该第一容室，行进通过该受限流体路径至该第二容室，并且离开介于该第一与第二部分之间的沟槽，以形成冲洗流体瀑布。

主权项

一种配置成向基材提供冲洗流体的瀑布设备，包括：具有第一宽度的第一部分，所述第一部分具有：第一容室、与所述第一容室分离的第二容室、和介于所述第一与第二容室之间的受限流体路径；第一耦接表面；和入口开口，所述入口开口产生介于所述第一耦接表面与所述第一容室之间的流体路径；以及具有第二宽度的第二部分，所述第二宽度大于所述第一宽度，且所述第二部分具有：第二耦接表面；和入口，所述入口与所述第一部分的所述入口开口对齐，以产生贯穿所述第二部分至所述第一容室的流体路径；其中所述第一部分的所述第一耦接表面与所述第二部分的所述第二耦接表面形成沟槽，所述沟槽沿着所述瀑布设备的长度的至少一部分延伸且连接到所述第二容室；且其中被引进到所述第二部分的所述入口的流体填充所述第一部分的所述第一容室，行进通过所述受限流体路径至所述第二容室，并且离开介于所述第一与第二部分之间的所述沟槽，以形成冲洗流体瀑布。