[发明专利]高频电源装置及双阴极用电源

摘要

在输出互为反相的交流电压的高频电源装置中，将高频输出电路的输出分压成两个输出的结构中，无法将高电压与低电压的相异的电压值进行与需求相对应的切换，输出端的电压会降低至高频输出电路的输出电压的1/2的峰值。在高频电源装置中，切换将由分压电路进行分压后的高频电压分压为相对于接地电位互为反相的交流电压的分压电路的连接状态来改变两个输出端电压的电压比例，从而切换高电压和低电压并输出。通过切换分压电路的连接状态，能够选择输出高电压和低电压的相异的电压值，在高频电源装置的输出端，通过在高电压输出时选择高电压来输出，抑制源自高频输出电路的输出电压的降低。

主权项

一种高频电源装置，从两个输出端输出相对于接地电位而互为反相的交流电压，其特征为，具备：交流电源；高频输出电路，其将上述交流电源的电源电压转换为预定频率并输出高频电压；和分压电路，其将上述高频输出电路输出的高频电压分压为相对于接地电位而互为反相的交流电压，上述分压电路，具备：串联电路，其将上述高频输出电路的输出端间的中点作为接地电位，而将第1电容元件和第2电容元件这两个电容元件串联连接；和切换电路，其对上述串联电路的至少任意一个电容元件的输出端侧或者是上述第1电容元件和上述第2电容元件之间的中点侧，切换连接上述高频输出电路的一个输出端及/或接地，而使上述两个电容元件相对于接地电位的两端电压的电压比例为可变，并切换高电压和低电压来输出。