[发明专利]观察装置

摘要

本发明提供的观察装置，能够以10微米以下的分辨率并且超过45度的较大倾斜角来观察例如24.6×24.6mm左右的物体面。观察装置(10)具备感光面(20)和使来自物体面S的光在感光面(20)成像的成像光学系统(30)。成像光学系统(30)包括凹面主镜(32)、副镜(34)以及引出平面镜(36)。来自物体面(S)的光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射后，经由引出平面镜(36)而在感光面(20)成像。观察装置(10)具备第一倾转单元，其能够使从物体面(S)朝向凹面主镜(32)的光的光轴(L1)与物体面(S)的垂线(N1)所成的角度(α)变化；第二倾转单元，其能够使从引出平面镜(36)朝向感光面(20)的光的光轴(L2)与感光面(20)的垂线(N2)所成的角度(β)变化。

主权项

一种观察装置，具备：对来自物体面的光进行感光的感光面、和使来自所述物体面的光在所述感光面成像的成像光学系统，所述观察装置的特征在于，所述成像光学系统由等倍反射型成像光学系统构成，该等倍反射型成像光学系统包括：凹面主镜、凸面副镜以及引出平面镜，能够使来自所述物体面的光的光束按照所述凹面主镜、所述凸面副镜、所述凹面主镜的顺序反射后，经由所述引出平面镜而在所述感光面成像，所述观察装置具备：第一倾转单元，其能够使从所述物体面朝向所述凹面主镜的光的光轴与所述物体面的垂线所成的角度α变化；和第二倾转单元，其能够使从所述引出平面镜朝向所述感光面的光的光轴与所述感光面的垂线所成的角度β变化。